产品概述:
操作简易,功能强大
JSM-6510A/ JSM-6510LA分析型扫描电子显微镜,与日本电子公司的元素分析仪(EDS),统合于一体。结构紧凑的EDS由显微镜主体系统的电脑控制,操作员只用一只鼠标,就可完成从图像观测到元素分析的整个过程。
产品特点:
专为您的需求而设计的热像仪 |
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微细结构测量 |
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标准的全对中样品台,能收录三维照片
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从图像观察到元素分析,配合连贯一条龙 | |
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维护简便
工厂预置中心灯丝,十分便于更换。因此,可长期保持稳定的高性能。此外,操作界面还能以映像形式显示灯丝维护的步骤说明。
可信赖的真空系统
真空系统使用高性能的扩散泵保证了洁净的高真空状态。扩散泵内部无活动部件,体现了操作稳定,维护简便的特色。
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产品规格:
详细技术指标 | |
保证分辨率 |
3.0nm(30kV) 8.0nm(3kV) 15nm(1kV) |
放大倍数 | 5至300,000x |
加速电压 | 0.5kV至30kV |
电子枪 | 工厂预对中灯丝 |
聚光镜 | 变焦聚光镜 |
物镜 | 锥形物镜 |
样品台 | 全对中样品台 |
X-Y | 80mm-40mm |
Z | 5mm至48mm |
旋转 | 360° |
倾斜 | -10°至+90° |
排气系统(高真空模式) | DPx1,RPx1 |
排气系统(低真空模式) | DPx1,RPx2 |
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